#  Регулятор массового расхода газа HORIBA D727MG высокого быстродействия, устойчивый к перепадам давления

> Актуально на: 2026-06-03 (YYYY-MM-DD)  
  
- **Артикул:** 866506494740  
- **Цена:** 609353.91 руб. (8233.30 USD)  
- **Партия:** от ≥1  
- **Категория:** Передатчики и датчики потока  
- **Полный путь:** [Главная](https://asiaoptom.com/) → [Электрика](https://asiaoptom.com/catalog/ehlektrika/) → [Передатчики и датчики давления](https://asiaoptom.com/catalog/peredatchiki-i-datchiki-davleniya/) → [Передатчики и датчики потока](https://asiaoptom.com/catalog/peredatchiki-i-datchiki-potoka/)  
- **фото:** https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01f4b1zb1Gwh7VVUPS1_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01vaJ4vB1Gwh7TxaxvQ_!!1865940687-0-cib.jpg  
  
## Варианты

  
Варианты: 1 вариантов  
Возможные варианты: D727MG  
  
- **D727MG** - 609353.89 руб. (8233.30 USD) в наличии: 20 шт.  
  
## Описание

 ## Высокоточный регулятор массового расхода газа HORIBA D727MG Представляем вам **HORIBA D727MG** — прецизионный массовый расходомер-регулятор (MFC) нового поколения, разработанный для самых требовательных процессов в полупроводниковой промышленности. Эта модель, являющаяся частью серии D700MG, обеспечивает исключительную стабильность и точность управления газовыми потоками, что критически важно для производства современных микрочипов и накопителей.  
 ### Ключевые особенности и преимущества **Высокое быстродействие:** Время отклика всего 100 мс, что позволяет минимизировать отклонения между отдельными MFC и повышает общую производительность процесса.  
**Устойчивость к перепадам давления:** Специальная конструкция обеспечивает стабильную работу даже при значительных колебаниях давления на входе, гарантируя точность дозирования.  
**Функция малого расхода (MRMG):** Поддержка бинов Bin101–Bin105 для точной работы с малыми расходами, что расширяет гибкость применения.  
**Коррозионная стойкость:** Использование сопла из ПФА (перфторалкокси) улучшает герметичность клапана и устойчивость к агрессивным газам, снижая риск загрязнения частицами и увеличивая время безотказной работы.  
**Интеллектуальный мониторинг состояния:** Встроенная функция диагностики предоставляет данные для прогнозирования отказов: счётчики обнуления, число циклов клапана, записи максимального/минимального давления (P0, P1, P2), температуры блока, общее время работы и контроля, а также суммарный расход по каждому калибровочному экземпляру.  
 ### Технические характеристики **Модель:** D727MG (совместима с D500MG по верхнему креплению)  
**Диапазон измерения:** 0–50 SLM (стандартных литров в минуту)  
**Точность:** 1% от показаний (для расходов от 2 SCCM; ниже 2 SCCM точность не гарантируется)  
**Выходной сигнал:** DeviceNet / 4–20 мА (опционально EtherCAT®)  
**Рабочее напряжение:** 24 В постоянного тока  
**Рабочая температура:** Обычная (комнатная)  
**Условный проход:** 1/2 дюйма  
**Присоединение:** Стандартное для полупроводникового оборудования  
 ### Области применения Идеально подходит для:  
 Управления газовыми потоками в процессах травления, осаждения (CVD, PVD) и ионной имплантации.  
Лабораторных исследований и опытно-конструкторских разработок в области микроэлектроники.  
Систем подачи газов для производства солнечных батарей и светодиодов.  
 ### Рекомендации по использованию Для достижения максимальной точности рекомендуется калибровать устройство по конкретному газу. При работе с агрессивными средами используйте соответствующие уплотнения и материалы. Убедитесь, что давление на входе не превышает допустимых значений, а скорость изменения давления не более 20% в секунду (или ±70 кПа/с).  
 ### Часто задаваемые вопросы (FAQ) **Вопрос 1:** Какая точность гарантируется при малых расходах?**Ответ:** Точность 1% от показаний гарантируется для расходов от 2 SCCM. Для расходов ниже 2 SCCM точность не нормируется.  
**Вопрос 2:** Поддерживает ли данная модель протокол EtherCAT?**Ответ:** Да, модель D727MG может быть оснащена интерфейсом EtherCAT® (опционально). Стандартно поставляется с DeviceNet или 4–20 мА.  
**Вопрос 3:** Какие данные предоставляет функция мониторинга состояния?**Ответ:** Функция мониторинга фиксирует: количество обнулений расхода/давления, число срабатываний клапана, максимальные/минимальные значения давлений P0, P1, P2, температуры блока, общее время работы, время управления, время протока и суммарный расход по каждому калибровочному экземпляру.  
   
**ТН ВЭД ЕАЭС:** 9026802000  
  
## Поставщик

- Доставка по Китаю: 3.2  
- Точность описания товара: 72%  
- Повторные продажи: 0%  
  
  
## Условия заказа

 Минимальная сумма заказа на AsiaOptom: от $500. Пробная партия: от $100. Цены указаны без учёта доставки. Средняя стоимость доставки до России: 5–8 $/кг (авто, ж/д), 10–12 $/кг (авиа). Персональный менеджер свяжется в течение 1–3 рабочих дней после оформления.  
   
 [Как заказать](https://asiaoptom.com/orderhelp/) | [Доставка](https://asiaoptom.com/delivery/) | [Оплата](https://asiaoptom.com/payment/) | [Гарантии](https://asiaoptom.com/guaranty/)  
  
 **Источник: ** https://asiaoptom.com/item/866506494740/