#  Цифровой массовый расходомер HORIBA STEC SEC-Z542MGX для полупроводниковой промышленности

> Актуально на: 2026-05-14 (YYYY-MM-DD)  
  
- **Артикул:** 857145008797  
- **Цена:** 398280.73 руб. (5323.98 USD)  
- **Партия:** от ≥1  
- **Категория:** Передатчики и датчики потока  
- **Полный путь:** [Главная](https://asiaoptom.com/) → [Электрика](https://asiaoptom.com/catalog/ehlektrika/) → [Передатчики и датчики давления](https://asiaoptom.com/catalog/peredatchiki-i-datchiki-davleniya/) → [Передатчики и датчики потока](https://asiaoptom.com/catalog/peredatchiki-i-datchiki-potoka/)  
- **фото:** https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01bjFjwA1Gwh6tu7FzW_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01puNVER1Gwh6mxcY7W_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01ErkCkF1Gwh6tU9hNo_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01Nv7Fwr1Gwh6tU9Uuu_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01rFXByG1Gwh4TXBfvy_!!1865940687-0-cib.jpg  
  
## Варианты

  
Варианты: 1 вариантов  
Возможные варианты: SEX-Z542MGX  
  
- **SEX-Z542MGX** - 398280.77 руб. (5323.98 USD) в наличии: 50 шт.  
  
## Описание

 ## Высокоточный контроль газового потока для критических процессов Представляем **HORIBA STEC SEC-Z542MGX** — прецизионный цифровой массовый расходомер (MFC), разработанный для самых требовательных применений в полупроводниковой промышленности. Этот прибор от ведущего японского производителя **HORIBA** обеспечивает непревзойденную точность и стабильность управления потоком газа, что критически важно для процессов осаждения, травления и других этапов производства микроэлектроники.  
 ### Ключевые особенности и преимущества **Высокая точность:** Погрешность измерения составляет всего ±1% от показаний (SP) и ±0,25% от полной шкалы (FS), что гарантирует воспроизводимость и надежность результатов.  
**Широкий диапазон измерений:** Модель SEC-Z542MGX охватывает расход от 0 до 1000 л/мин, что позволяет использовать ее в различных технологических линиях.  
**Цифровой интерфейс F-net:** Обеспечивает быструю и помехоустойчивую передачу данных, интеграцию в современные системы управления и мониторинг в реальном времени.  
**Многогазовые и многодиапазонные решения:** Прибор поддерживает калибровку для различных типов газов и может быть настроен на несколько диапазонов расхода, что повышает гибкость производства.  
**Быстрый отклик:** Время реакции менее 0,2 секунды от полной шкалы позволяет мгновенно реагировать на изменения технологического процесса.  
**Надежность и долговечность:** Корпус из нержавеющей стали и отсутствие движущихся частей обеспечивают длительный срок службы даже в агрессивных средах.  
 ### Технические характеристики **Модель:** SEC-Z542MGX  
**Диапазон измерения:** 0–1000 л/мин (N2 эквивалент)  
**Точность:** ±1% от показаний (SP) / ±0,25% от полной шкалы (FS)  
**Выходной сигнал:** F-net (цифровой)  
**Рабочая температура:** от 0 до 50 °C  
**Условный проход:** 1/2 дюйма  
**Присоединение:** Вход/выход — 1/2 дюйма  
**Материал корпуса:** Нержавеющая сталь  
**Страна производства:** Япония  
 ### Области применения Массовый расходомер **SEC-Z542MGX** идеально подходит для:  
 Управления газовыми потоками в процессах химического осаждения из паровой фазы (CVD, PECVD).  
Плазменного травления и очистки.  
Подачи газов-реагентов в эпитаксиальные реакторы.  
Контроля газовых смесей в научных исследованиях и разработках.  
Любых применений, требующих высокой точности и стабильности расхода газа.  
 ### Рекомендации по эксплуатации Для обеспечения максимальной точности и долговечности прибора рекомендуется:  
 Устанавливать фильтр тонкой очистки на входе газа для предотвращения попадания частиц.  
Использовать только сухие и чистые газы, соответствующие спецификациям.  
Периодически проводить калибровку прибора в соответствии с рекомендациями производителя.  
Избегать резких перепадов давления и температуры.  
 ### Часто задаваемые вопросы **Вопрос:** Какие газы можно использовать с этим расходомером?**Ответ:** Прибор поддерживает большинство технологических газов, используемых в полупроводниковой промышленности, включая N2, Ar, O2, CF4, SF6 и другие. Для каждого газа требуется индивидуальная калибровка.  
**Вопрос:** Какой интерфейс связи используется?**Ответ:** Модель SEC-Z542MGX оснащена цифровым интерфейсом F-net, который обеспечивает высокую скорость передачи данных и совместимость с современными системами управления.  
**Вопрос:** Требуется ли специальное программное обеспечение для настройки?**Ответ:** Да, для конфигурации и калибровки прибора рекомендуется использовать фирменное программное обеспечение HORIBA, которое поставляется отдельно.  
   
**ТН ВЭД ЕАЭС:** 9026802000  
  
## Поставщик

- Доставка по Китаю: 3.2  
- Точность описания товара: 72%  
- Повторные продажи: 0%  
  
  
## Условия заказа

 Минимальная сумма заказа на AsiaOptom: от $500. Пробная партия: от $100. Цены указаны без учёта доставки. Средняя стоимость доставки до России: 5–8 $/кг (авто, ж/д), 10–12 $/кг (авиа). Персональный менеджер свяжется в течение 1–3 рабочих дней после оформления.  
   
 [Как заказать](https://asiaoptom.com/orderhelp/) | [Доставка](https://asiaoptom.com/delivery/) | [Оплата](https://asiaoptom.com/payment/) | [Гарантии](https://asiaoptom.com/guaranty/)  
  
 **Источник: ** https://asiaoptom.com/item/857145008797/