#  Цифровой массовый расходомер HORIBA STEC SEC-Z552MGX для полупроводниковой промышленности

> Актуально на: 2026-05-14 (YYYY-MM-DD)  
  
- **Артикул:** 856566962992  
- **Цена:** 459554.69 руб. (6143.05 USD)  
- **Партия:** от ≥1  
- **Категория:** Передатчики и датчики потока  
- **Полный путь:** [Главная](https://asiaoptom.com/) → [Электрика](https://asiaoptom.com/catalog/ehlektrika/) → [Передатчики и датчики давления](https://asiaoptom.com/catalog/peredatchiki-i-datchiki-davleniya/) → [Передатчики и датчики потока](https://asiaoptom.com/catalog/peredatchiki-i-datchiki-potoka/)  
- **фото:** https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN013IjIKP1Gwh4dUrSSR_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01Pgj4RN1Gwh6vZpwil_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01YNpYHI1Gwh4TXCToj_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01MwzZvt1Gwh6mwJuxu_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01mUOAuA1Gwh6tLQXAm_!!1865940687-0-cib.jpg  
  
## Варианты

  
Варианты: 1 вариантов  
Возможные варианты: SEX-Z552MGX  
  
- **SEX-Z552MGX** - 459554.44 руб. (6143.05 USD) в наличии: 50 шт.  
  
## Описание

 ## Высокоточный контроль газового потока для критических процессов Представляем **HORIBA STEC SEC-Z552MGX** — цифровой массовый расходомер (MFC), разработанный для самых требовательных применений в полупроводниковой отрасли. Этот прибор от ведущего японского производителя **HORIBA** обеспечивает непревзойденную точность и стабильность управления потоком газа, что критически важно для процессов осаждения, травления и других этапов производства микросхем.  
 ### Ключевые особенности и преимущества **Высочайшая точность:** Погрешность измерения составляет всего ±1% от показаний (SP) и ±0,25% от полной шкалы (FS), что гарантирует повторяемость и надежность процессов.  
**Широкий диапазон измерения:** Модель SEC-Z552MGX охватывает расход от 0 до 1000 л/мин (LPM), что позволяет использовать ее как для низких, так и для высоких расходов.  
**Цифровой интерфейс F-net:** Современный протокол связи F-net обеспечивает высокую скорость передачи данных и простоту интеграции в системы автоматизации производства.  
**Многофункциональность:** Поддержка нескольких газов и возможность перенастройки диапазона делают этот MFC универсальным решением для различных технологических линий.  
**Надежность и долговечность:** Корпус из нержавеющей стали и прецизионные компоненты обеспечивают длительный срок службы даже в агрессивных средах.  
 ### Технические характеристики **Модель:** SEC-Z552MGX  
**Диапазон измерения:** 0–1000 л/мин (LPM)  
**Точность:** ±1% от показаний (SP), ±0,25% от полной шкалы (FS)  
**Выходной сигнал:** F-net (цифровой)  
**Рабочая температура:** От 0 до 50 °C (стандартная)  
**Присоединение:** 1/2 дюйма (внешняя резьба)  
**Материал корпуса:** Нержавеющая сталь  
**Производство:** Япония  
 ### Области применения Массовый расходомер **SEC-Z552MGX** идеально подходит для:  
 Управления газовыми потоками в процессах CVD, PVD, ALD и травления.  
Систем подачи газов в полупроводниковом производстве.  
Научных исследований и лабораторных установок, требующих высокой точности.  
Контроля газов в химической и нефтехимической промышленности.  
 ### Рекомендации по эксплуатации Для достижения максимальной точности и срока службы рекомендуется:  
 Устанавливать прибор в чистом, сухом помещении с контролируемой температурой.  
Использовать фильтры на входе для предотвращения попадания твердых частиц.  
Периодически проводить калибровку в соответствии с рекомендациями производителя.  
Избегать резких перепадов давления и температуры.  
 ### Часто задаваемые вопросы (FAQ) **Вопрос:** Можно ли использовать SEC-Z552MGX для агрессивных газов?**Ответ:** Да, благодаря корпусу из нержавеющей стали и специальным уплотнениям, прибор совместим с большинством технологических газов, включая коррозионно-активные. Однако для конкретных газов рекомендуется уточнить совместимость у производителя.  
**Вопрос:** Какой тип калибровки требуется для прибора?**Ответ:** Рекомендуется проводить калибровку по стандартам NIST (Национальный институт стандартов и технологий США) с периодичностью один раз в год или после каждого ремонта. Прибор поддерживает многогазовую калибровку.  
**Вопрос:** Входит ли в комплект поставки кабель для подключения?**Ответ:** Да, в стандартную комплектацию входит соединительный кабель для интерфейса F-net, а также инструкция по эксплуатации на русском языке.  
   
**ТН ВЭД ЕАЭС:** 9026802000  
  
## Поставщик

- Доставка по Китаю: 3.2  
- Точность описания товара: 72%  
- Повторные продажи: 0%  
  
  
## Условия заказа

 Минимальная сумма заказа на AsiaOptom: от $500. Пробная партия: от $100. Цены указаны без учёта доставки. Средняя стоимость доставки до России: 5–8 $/кг (авто, ж/д), 10–12 $/кг (авиа). Персональный менеджер свяжется в течение 1–3 рабочих дней после оформления.  
   
 [Как заказать](https://asiaoptom.com/orderhelp/) | [Доставка](https://asiaoptom.com/delivery/) | [Оплата](https://asiaoptom.com/payment/) | [Гарантии](https://asiaoptom.com/guaranty/)  
  
 **Источник: ** https://asiaoptom.com/item/856566962992/