#  Цифровой массовый расходомер HORIBA STEC SEC-Z532MGX для полупроводниковой промышленности

> Актуально на: 2026-05-14 (YYYY-MM-DD)  
  
- **Артикул:** 820076675960  
- **Цена:** 336991.46 руб. (4504.70 USD)  
- **Партия:** от ≥1  
- **Категория:** Передатчики и датчики потока  
- **Полный путь:** [Главная](https://asiaoptom.com/) → [Электрика](https://asiaoptom.com/catalog/ehlektrika/) → [Передатчики и датчики давления](https://asiaoptom.com/catalog/peredatchiki-i-datchiki-davleniya/) → [Передатчики и датчики потока](https://asiaoptom.com/catalog/peredatchiki-i-datchiki-potoka/)  
- **фото:** https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN013IjIKP1Gwh4dUrSSR_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01YNpYHI1Gwh4TXCToj_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN0105X8wD1Gwh4ZBEtBI_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01oFmrsi1Gwh4aUJr8W_!!1865940687-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01rFXByG1Gwh4TXBfvy_!!1865940687-0-cib.jpg  
  
## Варианты

  
Варианты: 1 вариантов  
Возможные варианты: SEX-Z532MGX  
  
- **SEX-Z532MGX** - 336991.38 руб. (4504.70 USD) в наличии: 50 шт.  
  
## Описание

 ## Высокоточный контроль газовых потоков для критических процессов Представляем **HORIBA STEC SEC-Z532MGX** — прецизионный цифровой массовый расходомер (MFC), разработанный для самых требовательных применений в полупроводниковой промышленности. Этот прибор, произведенный в Японии, воплощает десятилетия инженерного опыта HORIBA STEC, обеспечивая непревзойденную точность и надежность управления газовыми потоками.  
 ### Ключевые особенности и преимущества **Высочайшая точность:** Погрешность измерения составляет всего ±1% от показаний (SP), что гарантирует исключительную воспроизводимость и стабильность технологических процессов.  
**Широкий диапазон измерений:** Модель SEC-Z532MGX охватывает расход от 0 до 1000 л/мин (N2), что позволяет использовать ее как для низких, так и для высоких расходов в рамках одной системы.  
**Цифровой интерфейс F-net:** Обеспечивает высокоскоростную и помехозащищенную передачу данных, упрощая интеграцию в современные системы автоматизации производства.  
**Мультигазовая и мультидиапазонная поддержка:** Прибор может быть сконфигурирован для работы с различными газами и диапазонами расходов, что повышает гибкость и снижает затраты на парк оборудования.  
**Быстрый отклик:** Время установления расхода составляет менее 0,2 секунды, что критически важно для быстрых и точных циклов дозирования.  
**Надежность и долговечность:** Конструкция, проверенная в условиях жесткой эксплуатации на полупроводниковых фабриках, обеспечивает длительный срок службы и минимальное время простоя.  
 ### Технические характеристики **Модель:** SEC-Z532MGX (серия SEC-Z500X)  
**Диапазон расхода:** 0–1000 л/мин (по N2)  
**Точность:** ±1% от показаний (SP)  
**Повторяемость:** ±0,2% от полной шкалы (F.S.)  
**Выходной сигнал:** F-net (цифровой)  
**Присоединение:** 1/2 дюйма  
**Рабочая температура:** от 0 до 50 °C  
**Калибровка:** Прослеживаемая до NIST (Национальный институт стандартов и технологий США)  
 ### Области применения Массовый расходомер **HORIBA STEC SEC-Z532MGX** идеально подходит для:  
 Управления газовыми потоками в процессах CVD, PVD, травления и ионной имплантации.  
Дозирования газов-реагентов и газов-носителей в эпитаксиальных реакторах.  
Систем газоснабжения для производства полупроводников, светодиодов и солнечных элементов.  
Любых применений, где требуется высокая точность, стабильность и быстродействие.  
 ### Рекомендации по использованию Для обеспечения максимальной точности и долговечности прибора рекомендуется:  
 Устанавливать фильтр тонкой очистки на входе для предотвращения загрязнения измерительного канала.  
Использовать только сухие и чистые газы, соответствующие спецификациям.  
Проводить периодическую калибровку в соответствии с регламентом производителя.  
Избегать механических ударов и вибраций при монтаже и эксплуатации.  
 ### Часто задаваемые вопросы (FAQ) **Вопрос 1: В чем отличие модели SEC-Z532MGX от других серий HORIBA STEC?**Ответ: Модель SEC-Z532MGX относится к серии SEC-Z500X, которая отличается улучшенной точностью (±1% от показаний), более широким диапазоном расходов и поддержкой цифрового интерфейса F-net. Это делает ее оптимальным выбором для современных высокотехнологичных процессов.  
**Вопрос 2: Можно ли использовать данный расходомер для агрессивных газов?**Ответ: Прибор спроектирован для работы с широким спектром газов, включая некоторые агрессивные. Однако для конкретных газов (например, Cl2, HCl, NH3) необходимо уточнить совместимость материалов уплотнений и корпуса у производителя или поставщика.  
**Вопрос 3: Какова процедура первоначальной настройки и калибровки?**Ответ: Прибор поставляется с заводской калибровкой по азоту (N2). Для настройки под конкретный газ и диапазон требуется использование программного обеспечения HORIBA STEC и, возможно, внешнего эталонного расходомера. Рекомендуется доверить эту процедуру квалифицированному специалисту.  
   
**ТН ВЭД ЕАЭС:** 9026802000  
  
## Поставщик

- Доставка по Китаю: 3.2  
- Точность описания товара: 72%  
- Повторные продажи: 0%  
  
  
## Условия заказа

 Минимальная сумма заказа на AsiaOptom: от $500. Пробная партия: от $100. Цены указаны без учёта доставки. Средняя стоимость доставки до России: 5–8 $/кг (авто, ж/д), 10–12 $/кг (авиа). Персональный менеджер свяжется в течение 1–3 рабочих дней после оформления.  
   
 [Как заказать](https://asiaoptom.com/orderhelp/) | [Доставка](https://asiaoptom.com/delivery/) | [Оплата](https://asiaoptom.com/payment/) | [Гарантии](https://asiaoptom.com/guaranty/)  
  
 **Источник: ** https://asiaoptom.com/item/820076675960/