#  Вакуумный сушильный шкаф HASUC HMDS-6090 с автоматическим PLC-управлением и сенсорным экраном для обработки кремниевых пластин

> Актуально на: 2026-06-02 (YYYY-MM-DD)  
  
- **Артикул:** 537972853298  
- **Цена:** 208686.36 руб. (2859.33 USD)  
- **Партия:** от ≥1  
- **Категория:** Оборудование для температурных испытаний  
- **Полный путь:** [Главная](https://asiaoptom.com/) → [Измерительные приборы](https://asiaoptom.com/catalog/izmeritelnye-pribory/) → [Испытательные камеры и климатическое оборудование](https://asiaoptom.com/catalog/ispytatelnye-kamery-i-klimaticheskoe-oborudovanie/) → [Оборудование для температурных испытаний](https://asiaoptom.com/catalog/oborudovanie-dlya-temperaturnykh-ispytanij/)  
- **фото:** https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/10594300323_99050152.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/O1CN01bFG8Qf1ceknZgpseJ_!!986963626-0-cib.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/10620344087_99050152.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/10620329464_99050152.jpg, https://cdn.asiaoptom.com/iprox.php?i=img/ibank/10565412317_99050152.jpg  
  
## Варианты

  
Варианты: 1 вариантов  
Возможные варианты: вариант 1  
  
- **вариант 1** - 208686.10 руб. (2859.33 USD) в наличии: 10111 шт.  
  
## Описание

 ## Профессиональное решение для микроэлектроники: Вакуумный шкаф HASUC HMDS-6090 Представляем вам высокотехнологичное оборудование — вакуумный сушильный шкаф **HASUC HMDS-6090**, специально разработанный для прецизионной обработки кремниевых пластин и подложек в процессах фотолитографии. Этот прибор сочетает в себе передовые технологии автоматизации, надежность промышленного исполнения и высочайшее качество материалов, что делает его незаменимым инструментом для научно-исследовательских лабораторий, производств микроэлектроники и оптики.  
 ### Ключевые особенности и преимущества **Интеллектуальная система управления:** Цветной сенсорный экран в паре с программируемым логическим контроллером (PLC) от Mitsubishi позволяет гибко настраивать параметры процессов: температуру, время выдержки, уровень вакуума и циклы продувки азотом. Это обеспечивает полную автоматизацию и воспроизводимость результатов.  
**Медицинская чистота и долговечность:** Корпус и внутренняя камера выполнены из высококачественной нержавеющей стали марки **316L**, устойчивой к агрессивным средам и коррозии. Материал не выделяет частиц, что критически важно для работы в чистых помещениях класса 100.  
**Высокая точность терморегуляции:** Микропроцессорный контроллер с PID-самонастройкой обеспечивает стабильность температуры с точностью до ±0,5°C в диапазоне от комнатной +10°C до 250°C. Это гарантирует равномерный прогрев образцов.  
**Герметичность и безопасность:** Цельная силиконовая прокладка двери и регулируемые зажимы гарантируют высокий вакуум (до 133 Па) и полную герметизацию. Система автоматической подачи HMDS (гексаметилдисилазан) исключает утечки токсичного газа.  
**Эффективная система вакуумирования:** Встроенный ротационный масляный насос обеспечивает быстрое создание и поддержание глубокого вакуума, необходимого для удаления влаги и паров растворителей.  
 ### Технические характеристики **Модель:** HMDS-6090  
**Тип:** Вакуумный сушильный шкаф с принудительной конвекцией  
**Материал корпуса и камеры:** Нержавеющая сталь 316L  
**Диапазон рабочих температур:** от +10°C до +250°C  
**Точность поддержания температуры:** ±0,5°C  
**Разрешение по температуре:** 0,1°C  
**Предельный вакуум:** 133 Па  
**Объем камеры:** 90 литров  
**Внутренние размеры (Ш×Г×В):** 450 × 450 × 450 мм  
**Количество полок:** 2 шт.  
**Потребляемая мощность:** 3000 Вт  
**Напряжение питания:** AC 220В ±10%, 50 Гц  
**Вес нетто:** 130 кг  
 ### Область применения Вакуумный шкаф **HASUC HMDS-6090** предназначен для критически важных этапов фотолитографии — нанесения адгезионного слоя HMDS. Он эффективно удаляет влагу с поверхности подложек и создает гидрофобный слой, улучшающий сцепление фоторезиста с кремнием. Это предотвращает такие дефекты, как отслаивание, подтравливание и искажение рисунка. Оборудование широко используется в производстве интегральных схем, микроэлектромеханических систем (MEMS), светодиодов и солнечных элементов.  
 ### Рекомендации по эксплуатации Для достижения наилучших результатов рекомендуется использовать шкаф в чистых помещениях с контролируемой влажностью. Перед началом работы убедитесь в герметичности соединений и наличии масла в вакуумном насосе. Программируйте циклы обработки в соответствии с технологическим регламентом: предварительный нагрев до 100-200°C для дегидратации, затем напуск HMDS и выдержка при заданной температуре. Отработанные пары HMDS должны отводиться в систему вытяжной вентиляции.  
 ## Часто задаваемые вопросы (FAQ) ### Вопрос 1: Для каких материалов подходит этот шкаф? Ответ: Оборудование оптимизировано для обработки кремниевых пластин, сапфировых подложек, стекла и других материалов, используемых в микроэлектронике и оптике. Благодаря коррозионностойкой стали 316L, оно также может применяться для сушки химически стойких образцов.  
 ### Вопрос 2: Нужно ли дополнительно покупать вакуумный насос? Ответ: Нет, в комплект поставки входит ротационный масляный вакуумный насос, необходимый для создания рабочего вакуума. Все соединительные элементы также предусмотрены.  
 ### Вопрос 3: Как часто нужно обслуживать уплотнители двери? Ответ: Силиконовая прокладка рассчитана на длительный срок службы. Рекомендуется проверять ее целостность и эластичность каждые 6 месяцев. При появлении трещин или деформации прокладку следует заменить для поддержания герметичности.  
   
**ТН ВЭД ЕАЭС:** 8419390008  
  
## Поставщик

- Доставка по Китаю: 4.1  
- Точность описания товара: 100%  
- Повторные продажи: 72.5%  
  
  
## Условия заказа

 Минимальная сумма заказа на AsiaOptom: от $500. Пробная партия: от $100. Цены указаны без учёта доставки. Средняя стоимость доставки до России: 5–8 $/кг (авто, ж/д), 10–12 $/кг (авиа). Персональный менеджер свяжется в течение 1–3 рабочих дней после оформления.  
   
 [Как заказать](https://asiaoptom.com/orderhelp/) | [Доставка](https://asiaoptom.com/delivery/) | [Оплата](https://asiaoptom.com/payment/) | [Гарантии](https://asiaoptom.com/guaranty/)  
  
 **Источник: ** https://asiaoptom.com/item/537972853298/